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TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

型    號:
所屬分類:3D光學表面輪廓粗糙度儀
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瑞士 TRIMOS TR-scan非(fei)接(jie)觸式微觀形(xing)(xing)貌測(ce)量(liang)儀 ,全自動共(gong)焦(jiao)三維(wei)測(ce)量(liang)。具有完善(shan)的分(fen)析功能模(mo)塊,對(dui)其表面(mian)形(xing)(xing)貌進(jin)行輪廓、面(mian)積、體(ti)積、粗糙度、截面(mian)等(deng)測(ce)量(liang)。

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀的詳細資料:



TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面(mian)積、體積(ji)、粗糙度、截面(mian)等測量(liang)。

 

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要(yao)特點:

  • 強(qiang)大(da)的(de)多點共(gong)焦技術(shu),zui準確(que)的(de)測量出表面形貌數據(角度、半徑、輪廓、粗糙(cao)度)

  • 通過光(guang)學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數

  • 測量速度快,可整(zheng)合成(cheng)一(yi)個(ge)高效的在(zai)線測量系統

  • 適用于陡峭的(de)斜面,爬(pa)坡(po)角度高達85度

  • 垂直分辨率高達(da)30nm

  • TRSCAN是*可同(tong)時獲得(de)表面(mian)形貌和真實顏(yan)色(se)信息(xi)的(de)3D測(ce)量(liang)設備,測(ce)量(liang)更加精確靈活

  • 通過腳本自動測(ce)量(liang),更(geng)適用于(yu)批(pi)量(liang)測(ce)量(liang),并生成圖(tu)形(xing)或數字報告

  • 粗糙度和(he)輪(lun)廓測量符合*EN/ISO4287標(biao)準

  • 可用于選定區域的面積及體積計算

  • 可(ke)選配(pei)轉臺,實現(xian)三(san)維掃面

  • 可(ke)用于復雜(za)幾何外形的形狀(zhuang)分(fen)析(xi),可(ke)測量角度、半徑等表面(mian)特征

技術參數:

 

 工作臺移動范圍X 100mm
 工作(zuo)臺(tai)移動范圍Y 固定式
 工作臺移動范(fan)圍Z 240mm
 XYZ軸(zhou)zui小位移(yi)量0.1μm 
 XYZ軸定位精度 1μm
 XY軸導軌(gui)直線度 1.5μm
 工(gong)件zui大重(zhong)量(liang)20kg 
 測量原理非接觸式多點譜線共(gong)焦傳感器 
 光源 白色LED共軸光,高強光,數字可(ke)控
 色(se)譜共焦傳感器 CLS0.2 CLS1 CLS4
 線(xian)寬(kuan) 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工作距離 5.3mm18.2mm 39mm 
 光(guang)斑間隙(xi)5μm10μm 25μm 
 光斑(ban)大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡(po)坡(po)度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 測量(liang)范圍 200μm950μm 4mm 
 軸(zhou)向分(fen)辨率30nm 120nm 500nm 
 精度 90nm360nm 1.5μm 
 厚(hou)度zui小分(fen)辨(bian)率15μm 70μm 300μm 
 測量zui大(da)厚度300μm 1.5mm 6mm 


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