Werth*家將X射線掃描成像技術整合到三坐標測量系統，實現產品無損可視化準確測量，并可選配光學、光纖、探針、激光掃描等多種傳感器。對工件內外部所有結構尺寸全面的高精密測量，同時可實現工件材質的缺陷分析。可對塑料、陶瓷、復合材料、金屬等多種材質制成的產品進行無損尺寸測量和裝配評估等。壓縮測量周期的同時，保證了高品質的要求。此機榮獲2005年度歐洲模具設計金獎。
Tomo測量機主要特點：
◆ *家將X射線斷層掃描成像技術整合到三坐標測量系統，實現復雜部件高精度內外尺寸全面測量
◆ 可選配第二個Z軸，配置其他傳感器（光學、探 針、光纖、激光等）
◆ Werth公司技術復合式傳感器技術，進一步保證 CT測量數據更準確
◆ 堅固的花崗巖基座，保證機器具有高穩定性
◆ 高精密機械軸承技術及線性導軌系統，確保實現zui 高精度的測量
◆ 無論從設計還是結構，測量機*并超出X射線使用安全標準
◆ 基于Werth公司優異的圖形處理及3D重構技術，測量速度更快
◆ Werth公司技術的X射線傳感器獨立校準系統
◆ Werth公司技術的柵格斷層掃描技術：
精密測量微小部件
掃描更大尺寸工件，提高分辨率
擴展測量范圍
◆ 測量軟件可快速3D重構，也可進行2D測量
◆ 測量工件內部尺寸的同時，也可實現材質缺陷分析
◆ 選用廣泛應用的WinWerth軟件 (德國國家計量院PTB長度標準認證) ，界面友好，操作簡單
◆ 可使用*擬合Bestfit及公差擬合Tolerancefit軟件進行輪廓匹配分析及三維CAD工件公差比對
◆ 廣泛應用于復雜尺寸測量，*評估，逆向工程，質量控制等
應用領域: 模具行業、逆向工程、汽車行業、航空航天、精密機械加工、船舶等
技術參數：
型 號 | TomoScope HA | TomoCheck | TomoScope HV Compact | TomoScope HV 500 |
zui大測量工件尺寸(直徑) | 90mm | 90/200/200mm | 180/350mm | 360/500mm |
zui大測量高度 | 285mm | 240/360/400mm | 180/520mm | 380/700mm |
zui大允許誤差 (用CT傳感器) | (4,5+L/75) µm | (1,5+L/500) µm | (4,5+L/75) µm | (4,5+L/75) µm |
zui大允許誤差(E1:單軸精度) | (2,5+L/120) µm | (0,5+L/900)µm | (2,5+L/120) µm | (2,5+L/120) µm |
(E2:平面精度) | (2,9+L/100) µm | (0,7+L/600) µm | (2,9+L/100) µm | (2,9+L/100) µm |
(E3:空間精度) | (4,5+L/75) µm | (1,5+L/500) µm | (4,5+L/75) µm | (4,5+L/75) µm |
X射線源可選 | 130/150/190kV | 130/150/190/225kV | 225/300/320kV | 225/300/320/450kV |
X射線探測器像素 | 1024x1024 | 1024x1024 | 2048x2048 | 2048x2048 |
X射線探測器尺寸 | 50x50mm | 50x50mm | 200x200mm | 400x400mm |
分辨率 | 0.1µm | 0.1/0.01µm | 0.1µm | 0.1µm |
定位速度 | 150mm/s | 60mm/s | 150mm/s | 150mm/s |
加速度 | 300mm/s2 | 250 mm/s2 | 350 mm/s2 | 350 mm/s2 |
工作臺承重 | 2kg | 10kg | 40kg | 40kg |
電源 | 230V +/-10% | 3x400V/N/PE | 3x400V/N/PE | 3x400V/N/PE |
氣壓 | 7-10bar | 7-10bar | 7-10bar | 7-10bar |
儀器自重 | 3000kg | 6000kg | 11000kg | 13000kg |
1). 依據標準ISO 10360和VDI/VDE 2617，使用TP200, WFP測量或CT傳感器選擇同等及更高精度探針修正或光學傳感器選用同等及更高精度探針修正
2). Temp: 20℃±2k, △=1K/h m≤2kg
X射線穿透能力：
Werth獨有的用于高精度、高分辨率測量的穿透型標靶射線源。此標靶在高管電壓（如300KV）和大管電流的情況下能夠長時間穩定地保持微米級的焦點尺寸，這樣就能用微米級焦點的X射線快速的高精度、高分辨率進行測量高密度（如鋼）較大尺寸的零件。
| 類別 | TomoScope | ||||
| 射線源功率 | 130KV | 150KV | 190KV | 225KV | 300KV |
| 鋼/陶瓷 | 5mm | 8mm | 25mm | 40mm | 70mm |
| 鋁 | 30mm | 50mm | 90mm | 150mm | 250mm |
| 塑料 | 90mm | 130mm | 200mm | 250mm | 450mm |
| 射線管 | 關 | 關 | 開 | 開 | 開 |
| 光源類型 | 反射 | 反射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
| 光斑尺寸 | 0.00Xmm-0.Xmm | 0.00Xmm-0.Xmm
| 0.00X mm – 0.X mm (反射) ≤ 0.00X mm (透射) | 0.00X mm – 0.X mm (反射) ≤ 0.00X mm (透射) | 0.00X mm – 0.X mm (反射) ≤ 0.00X mm (透射) |
應用實例：
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